原子层刻蚀机

1）样片尺寸6英寸，可兼容4英寸和2英寸；样品台可均匀转动，转速0-90度/秒可调；

2）工艺腔本底真空优于3x10-3pa；

3）刻蚀速度2A/cycle精确可调；

4）样品台温度控制-100~1000度；

5）6英寸基片的刻蚀误差在0.5%以内；

6）电调节系统控制范围-100eV~150eV，控制精度误差1eV内；

7）配备6路进气端口；