样品表面形貌分析，5B-92U间所有元素的定性、定量分析（点、线、面分析模式）。
1）加速电压：0.1-30KV；2）稳定度：优于0.2%/h； 3）放大倍数：范围：30-200000x； 4）分辨率：1nm@15kv
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