电子探针显微分析仪

矿物及岩石多元素高精度定量分析，轻元素定性、定量分析，痕量元素分析，高灵敏度元素面分布分析。

1）元素探测范围：4Be -92U（标准）,Be（选购相应的分光晶体）；
2）二次电子分辨率：6nm（工作距离11mm，30kV）；
3）加速电压：0.2 -30kV(步长为0.1kV) ；
4）束流范围：10-5 - 10-12A；
5）X射线出射角：40°；
6）罗兰圆半径：140mm（XCE、TXE、FCS型谱仪）,100mm（H型）；
电子光学系统：
7）二次电子分辨率：6nm（工作距离11mm，30kV）5nm（选择LaB6电子枪时）；
8）电子枪：采用预对中灯丝，不需机械调节，灯丝饱和点自动调节；
9）电子枪对中：二级偏转电磁式，可显示灯丝像；
10）加速电压：0.2 ~ 30kV(步长为0.1kV)；
11）束流范围：10-5 ~ 10-12A