样品表面形貌分析，5B-92U间所有元素的定性、定量分析（点、线、面分析模式）。

1）SEM 分辨率：高真空：3.0nm（30kV）；10nm（3kV） 低真空：4.0nm（30kV）；

2）放大倍数: 5-300,000；

3）加速电压：0.3-30kV多种步进调压方式