分步投影光刻机

分步投影光刻机

  • 型号 QTJL018
  • 产地 成都

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通过投影成像方式,把掩模版上图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面。

分辨率:0.45um 套刻精度:≤110nm 最大曝光面积:20x

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