对样品定点制备，离子束研磨样品之前的机械预加工，带有一系列工具和一体化显微观察系统，可对样品进行精确的目标定位，并对样品进行铣削、修快、切割、研磨、抛光及冲钻等加工，并实时显微观察。 [1]
1.离子束能量调节范围：1keV~9keV； 2.垂直摆动距离≥±4mm； 3.可对SEM样品进行离子束抛光，加工尺寸≥20mm； 4.可对SEM样品进行离子束刻蚀，突出晶界或不同组分边界
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