X射线光电子能谱仪（XPS）

主要用于化学、材料、能源、机械等领域，可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品；分析内容包括表面元素组成及化学态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等 能够检测元素周期表中除H和He以外所有的元素

1、X射线源
（1）靶：双阳极Al/Mg靶
（2）能量分辨率：0.43 eV/（Ag 3d5/2） 0.82 eV/（C 1s）
（3）最小分析区域（收谱）20μm
（4）灵敏度： 4Mcps@1.0eV (650μm) 1.8Mcps@0.6eV (650μm) 700kcps@0.5eV (650μm)
（5）成像空间分辨率：小于1 μm
2、能量扫描范围及最小步长
（1）6meV (0~1,500eV) 12meV (0~3,000eV) 2 4meV (0~5,000eV)
3、最大分析面积 8mm