2.应用于减薄金属及非金属材料。
1）离子束能量调节范围：1keV~9keV； 2）垂直摆动距离≥±4mm； 3）可对SEM样品进行离子束抛光，加工尺寸≥20mm； 4）可对SEM样品进行离子束刻蚀，突出晶界或不同组分边界
易盛泰和科技
