利用细聚焦高能量电子束，在扫描线圈磁场的控制下，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子、背散射电子等物理信号，经探测器收集、放大器放大后，将信号一一对应地在显示屏上的相应各点调制成像，从而获得样品表面的放大图像。采用场发射电子光源可获得更高的分辨率和更优秀的成像质量。
1）分辨率：15kV时0.6nm；1kV时0.9nm(借助串联减速功能选项)； 2）加速电压：0.02-30kV连续可调； 3）放大倍数：×20-2,000K； 4）探针电流：3pA-20nA
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