钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大，抗干扰能力和稳定性都较好，低真空下可以对不导电样品无荷电成像，可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析，在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。
1）二次电子分辨率3.0nm@30KV,8.0nm@3kv； 2）背散射电子分辨率4nm@30KV； 3）探针台金条分辨率：X、Y方向分辨率≤3nm，Z方向分辨率≤1nm
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